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供应超(高)纯氢气净化器
发布时间:2020年09月27日
有 效 期:2021年03月29日
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详细说明
氢气是硅外延淀积的硅源、掺杂源及携带气体,也是淀积过程中的还原气体,同时还广泛应用于超大规格集成电路制造、航天燃料电池制造、配制某些混合气的底气和实验室仪器用载气。上述这些环节对氢气纯度要求很高,要求氢气纯度达到6N以上甚至更高。
本装置结构紧凑,体积较小,纯化效果好,能耗低,催化剂可长期使用,无需再生处理,吸附剂在装置内再生循环使用。超高纯氢气在电子工业部门,用作氢气还原制取半导体超纯材料锗和硅,及用在半导体器件和集成电路的外延工序中及载气和燃烧用气。
原料氢气来源:电解水氢、瓶装氢气
处理气量:0.5-3000m3/h
氢气纯度:99.999-99.9999999%
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